Thermionics Northwest,Inc公司Thermionics Northwest,Inc公司

EC系列提供高精密度定位，预装的十字平台控制以及预装微米耦合，导轨系统是由坚固的碳钢组成。

X轴：分辨率＜0.0025mm

     重现性＜0.0038mm

     后冲＜0.0038mm

Y轴：分辨率＜0.0025mm

     重现性＜0.0038mm

     后冲＜0.0038mm